什么动物蛇若无头?

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世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备宣布研制成功意味着什么?对国内芯片行业有何影响?

报道说,这套装备能实现亚波长结构的高精度成像和直接加工。这句话好神秘啊!到底是怎样做到的呢? 先说结论,这个新闻里的装置应该没办法做直接加工,因为现在还没有材料能够承受超过1E+21帕的应力。(当然,新闻里说是“超高精密”或许有些言过其实了)

为了证明我的结论,我建立了简单的模型,并计算了在此装置下压强的分布情况以及最大压强点所处的位置。 考虑如下:

假设在底部的圆形区域里有一正方形块体,对这块体进行受力分析:底部受到的支持力为N,侧壁的压力为P,由于是正方体,所以四个侧面受到的压力大小相等方向相反。 现在要使这块体从底部开始压缩,则必然有 P < N/3 根据新闻报道,这个设备是“超高精密的”,那么 P 的数值应当会很小——比一个原子的大小还要小很多。

接着假设这块体是由均匀且各向对称的介质构成的,这样就能把问题简化。 根据上述假设,当块体被持续压缩时,其形变规律应当符合如下公式 \varepsilon=\frac{N}{6\pi E} 其中,\epsilon 是形变,N 是施加在上面的力,E 是介质的杨氏模量。 当光从上方照射下来的时候,上面部分的光锥会产生衍射现象,而下面部分的物体就会发生投影现象。考虑到紫外线波长的限制,目前不可能用光来刻划器件,因此这里提到的雕刻只能是全息记录的形式。也就是说,当物体经过这套装置时就能得到物体的像,而且这个像是全等且对称的。 既然有了像,那么就可以给这个像赋值——比如说让这个像通过电场、磁场或者耦合剂的方式转化为电流,这样就可以利用这套装置来加工电子元器件了嘛! 但是,如果想过这套装置来印制复杂形状的器件,这是不现实的。为什么呢? 因为如果要对一个物件进行精确雕刻的话,那么压力必须是对称且均匀的分布在整个工件上。但根据上面的分析,这套装置是不可能同时满足这两个条件的。

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